SEMと基本構造は同じですが、より分析に特化した電子顕微鏡です。特性X線を波長分散分析することで、元素を高感度(・高元素分解能)で測定することができます。また、元素の面的な分布状態を示す、線分析やマッピング分析を行うことも出来ます。
結晶性粉末試料に特性X線を当て、回折X線を計測します。そうすることで物質中の結晶構造を調べることができます。具体的には、物質の同定に用います。
不活性ガス中あるいは真空中で試料を様々な速度で加熱・冷却し、試料の膨張・収縮を検出して、温度の関数として測定するものです。
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