(22) 電子線マイクロアナライザ(EPMA)分析

概要

電子線マイクロアナライザ(Electron Probe Micro Analyzer;略してEPMA)は、細く絞った電子線を試料に照射し、その部位から発生する特性X線を検出して、照射箇所(試料表面)にどのような元素が(Be~U)、どのような分布状態(0.01 %~100 %)であるかを明らかにできます。

適用対象

分析項目

適用例

保有機器の主な仕様

分析元素
Be~U、加速電圧:0.2~30 kV、観察倍率:40~300,000倍
試料寸法
100 mm×100 mm×50 mm高


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