(21) FE-SEM(EDS/EBSD付)観察

概要

電界放射電子銃式走査型電子顕微鏡(Field Emission Electron Gun type Scanning Electron Microscope;略してFE-SEM)は、汎用SEMよりも更に細く絞った電子線を試料に照射、走査することによって、より鮮明な(高い分解能の)拡大像などが得られる装置です。また、細く絞った強い電子ビームを利用して結晶方位解析法(Electron Back-Scatter Diffraction;略してEBSD)を用いると、結晶方位や結晶構造の解析を行うこともできます。

適用対象

観察項目

適用例

保有機器の主な仕様

FE-SEM
分解能;1.5 nm、加速電圧;0.2~30 kV、観察倍率;15~500,000倍
EDS分析装置
分析元素;Be~U
EBSD解析装置
結晶方位;解析最小直径≦0.2 μmφ


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