(23) X線光電子分光(XPS)分析

概要

X線光電子分光分析装置(X-ray Photoelectron Spectroscopy:略してXPS。ESCAとも称する。)は、試料表面に軟X線を照射し、発生する光電子の結合エネルギーを測定します。試料を構成している元素と組成(定性分析、半定量分析)、元素の化学状態(状態分析)を調べることができます。検出される情報は、試料の極表面層(数nm)のものであり、Arイオンスパッタリングを組み合わせることで、深さ方向の測定を行うこともできます。
励起源が軟X線のため、導通がない試料の測定も可能です。

適用対象

分析項目

適用例

保有機器の主な仕様

分析元素
Li~U
X線源
Al単色化線源
X線ビーム径とX線出力
9 um 1 W ~200 um 45 W

測定例

純銀の板材に発生した変色部の測定例です。変色部からは、Sが検出されました。S2pスペクトルの光電子エネルギー値から、Sは硫化銀として存在していることが分かります。また、検出元素の深さ方向分析から、硫化層の厚さは約5 nmであることが分かります。


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